產業鏈漸入佳境，廈門第三代半導體“蓄勢待發”

來源:工商時報

       無論從科技還是經濟的角度，半導體產業有著無法替代的重大戰略意義，屬于國民經濟的基礎性支撐產業。而在國務院發布的《“十三五”國家科技創新規劃》中，第三代半導體被列為國家面向2030年重大項目之一。
　　
　　近年來全國各地均在加速布局發展第三代半導體，目前初步形成了以京津冀、長三角、珠三角、閩三角為主的幾大重點發展區域。其中，身處閩三角腹地的廈門，產業基礎扎實且發展迅速，已成為中國第三代半導體產業版圖中的重要一極。
　　
　　2019年，廈門市科技局啟動“未來產業培育工程”，對十大未來產業進行搶先布局，第三代半導體就是其中之一。
　　
　　事實上，廈門已布局第三代半導體多年。早在2011年，瀚天天成便在廈門火炬高新區成立，它是國內首家產業化3/4/6英寸SiC外延晶片生產商，2020年獲華為哈勃投資入股。
　　
　　目前，廈門市SiC功率電力電子已初步形成了涵蓋外延、芯片、器件、組件和應用的產業鏈，擁有三安集成、瀚天天成、芯光潤澤等代表性企業；而在GaN微波射頻領域，已形成上中下游的初步產業化能力。
　　
　　化合物半導體市場政策
　　
　　Developmentpoliciesandobjectives
　　
　　發展目標
　　
　　Developmentpoliciesandobjectives
　　
　　形成國內極具集聚和輻射效應的研發、制造、品牌和運營基地，到2021年，力爭實現產值200億元。
　　
　　發展優勢
　　
　　Developmentadvantages
　　
　　區位優勢
　　
　　憑借得天獨厚的對臺區位優勢，廈門與臺灣第三代半導體業界的合作交流廣泛。廈門在市場、制造、資金等方面有優勢，而臺灣則具有人才、管理、技術等優勢，兩岸合作可以形成良好的產業互補。
　　
　　科教優勢
　　
　　廈門大學擁有國家集成電路產教融合創新平臺，該校電子學科也具有悠久的歷史，是我國最早成立半導體學科的高校之一。同時，2018年教育部正式批復同意將廈門大學微電子學院列入國家示范性微電子學院籌建單位。在第三代半導體方面，廈門大學與三安光電共建了第三代半導體產教融合分平臺，開展戰略性、前瞻性、基礎性、綜合性科技創新，以及人才培養合作。
　　
　　營商環境優勢
　　
　　《新華每日電訊》頭版曾刊登過《廈門:構建一流營商環境助力“大招商招大商”》文章，在士蘭微化合物半導體項目落戶廈門海滄的過程中，從簽訂土地出讓合同到拿到施工許可證，僅花了5天時間。
　　
　　長期以來，廈門高度重視營商環境建設，從2015年起對標新加坡等先進經濟體，參照世界銀行評價標準體系，著力打造國際一流的營商環境。
　　
　　以企業用電為例，去年以來，廈門企業辦電成本持續降低。廈門在全國首推用電容量1250千伏安及以下中小微企業電力外線建設由政府財政全額出資政策，企業外線“零投資”，目前已有28家企業享受補貼700萬元。
　　
　　此外，廈門供電質量始終保持國內領先。2019年廈門城市供電可靠性在全國50個主要城市中排名第一，今年一季度廈門供電可靠率在國家電網公司排名第一，為廈門高能級招商引資、金磚創新合作提供了更加堅實可靠的保障。另據測算，按世界銀行營商環境“獲得電力”指標，廈門已躍升至相當于全球第9位。
　　
　　營商環境日益優化，內資外資青睞廈門，一大批優質產業項目紛至沓來，為推動廈門實現高質量發展注入了新的強大活力。
　　
　　LED產業優勢
　　
　　作為國家LED外延芯片及LED球泡燈等科技產業最重要的集聚地和輻射地之一的廈門，在發展第三代半導體上更具先天優勢。
　　
　　GaN是LED領域重要的外延材料，LED企業基于其自身對材料的理解，布局GaN/SiC等化合物半導體材料，可以說是近水樓臺。此前，國家第三代半導體產業技術創新戰略聯盟理事長吳玲在接受媒體采訪時表示，三安光電、乾照光電、士蘭明鎵等LED龍頭企業正加速往第三代半導體轉型升級。
　　
　　廈門發展第三代半導體產業，一方面可以豐富半導體產業的內涵和外延，另外一方面可以構建具有廈門特色的未來產業和自主知識產權，前瞻思維和戰略眼光必將讓廈門躋身我國第三代半導體產業的第一方陣和排頭兵。
　　
　　重點企業
　　
　　Keyenterprises
　　
　　三安光電
　　
　　全球LED芯片龍頭
　　
　　國內化合物半導體IDM龍頭
　　
　　子公司廈門三安集成專業從事Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體(GaAs/GaN/SiC)等材料的研發制造，目前已形成微波射頻、電力電子、光通信等三大技術平臺，產品主要應用于照明、顯示微波射頻、激光通訊、功率器件等領域。
　　
　　2014年三安集成在廈門率先建設國內第一條6吋化合物半導體民用產線。2016年與GCS合資設立廈門三安環宇專注于化合物射頻PA代工，2017年公司HBT工藝通過重點客戶產品認證，2018年三安集成宣布推出國內第一家6英寸SiC晶圓代工制程，且全部工藝鑒定試驗已完成。
　　
　　同時，三安光電還與華芯投資管理（大基金的唯一管理機構）等四方建立戰略合作關系，大力支持該公司的發展以Ⅲ-V族化合物半導體為重點的集成電路業務。2019年，三安與美的集團合作成立第三代半導體聯合實驗室，將通過研發第三代半導體功率器件導入白色家電，凝聚雙方的科研力量共同推動第三代半導體功率器件的創新發展。2020年與金龍汽車在廈門簽署了戰略合作框架協議，共同推進SiC功率器件在新能源客車電機控制器、輔驅控制器的樣機試制以及批量應用。
　　
　　三安集成長沙SiC制造基地下半年啟動投產。著眼于2025年電動智能汽車爆發市場，其提前布局SiC產能，于湖南長沙投資建設千畝制造基地，一期工程已于2021年1月全面封頂，4月機臺陸續進廠調試，下半年將啟動投產，預計年產達40萬片6吋SiC晶圓。長沙基地垂直整合了自襯底材料-外延生長-晶圓制造-到封裝測試等環節，提高成本效益，縮短產品迭代周期，加速寬禁帶半導體在電動智能汽車領域的普及。
　　
　　瀚天天成
　　
　　國內SiC外延片龍頭
　　
　　國內首家商業化3/4/6英寸SiC外延片供應商，2020年獲華為哈勃投資入股。不僅承擔了一項國家科技重大專項（02專項）項目和兩項國家863課題項目，同時還與株洲中車時代電氣股份有限公司建立合作，為其提供3300VSiC功率器件的外延片，極大提升動車組的整體性能和工作效率。
　　
　　今年3月，瀚天天成聯合電子科技大學、中科院、重慶偉特森等，突破了SiC材料深槽刻蝕填充的世界性難題，成功研發出具有優越填隙能力的SiC超結制造工藝。
　　
　　芯光潤澤
　　
　　國內主要SiC智能功率模塊(IPM)量產企業
　　
　　專業從事SiC功率模塊研發及制造產業化，依托自有已申請的多項包含電路設計，制造，封裝等功率組件相關專利已籌建首批專業性SiC國家級實驗室。
　　
　　芯光潤澤在航天航空、光伏、智能電網、軌道交通、新能源汽車、家電等相關應用領域，已經與行業巨頭進行合作并成立相關模塊公司。
　　
　　士蘭明鎵母公司士蘭微是國內規模最大的集成電路IDM企業之一
　　
　　由杭州士蘭微與與廈門半導體投資集團有限公司共同投資成立，從事化合物半導體器件研發、制造，主要產品包括第三代化合物功率半導體器件、5G與射頻相關模塊、高端LED芯片產品。12月其承擔的“硅基GaN器件與集成電路工藝融合技術研究”課題已通過綜合績效評價。
　　
　　延續其在硅基器件的發展思路—產線建設與研發并行，有望為其在第三代半導體的發展積累一些先發優勢。此外，相較于難度更高的SiC襯底器件，公司先從硅基氮化鎵切入，能夠整合公司現有硅基器件的技術積累，技術難度相對較小，有利于快速實現產業化。
　　
　　華天恒芯
　　
　　致力于SiC器件研發、制造
　　
　　具備650V/1200V/1700VSiC肖特基二極管的能力。